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膜厚监测仪--EQ-TM106

简要描述：EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合先进的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。

  • 产品型号：
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2024-10-21
  • 访  问  量：2685
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详细介绍


技术参数

主要特点

  • 本机可与计算机连接。
  • 显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM  
  • 控制输出的百分比等工作状态。
  • 通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入Excel文件。
  • 具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

EQ-TM106-1监测组件

 

  • 电源：DC   5V（±10%），zui大电流400mA
  • 频率分辨率：±0.03Hz
  • 膜厚分辨率：0.0136Å（铝）
  • 膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度
  • 测量速度：100ms-1s/次，可设置
  • 测量范围：500000Å（铝）
  • 标准传感器晶体：6MHz
  • 计算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无）
  • 模拟输出：8比特分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出）
  • 工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
  • 外形尺寸：90mm×50mm×18mm

 

EQ-TM106-2显示仪

 

  • 输入电源：AC 220V±10%
  • 输出电源：DC   5V  3A
  • 显示器：12×2数码管与LED
  • 通讯端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8位，停止位：1位 　，奇偶校验：无）
  • 外形尺寸：182mm×65mm×160mm

 

EQ-TM106-3探头

 

  • 适用晶片频率：6MHz
  • 适用晶片尺寸：Φ14mm
  • 安装法兰：CF35
  • 冷却水管：Φ3mm，长度300mm、500mm、1000mm
  • 冷却水压：<0.3MPa
  • 气动挡板路管：Φ3mm
  • 压缩空气压力：<0.8MPa，> >0.5MPa
  • 烘烤温度：通水状态<200℃，不通水状态法兰<100℃
  • 电气接口：BCN插座

标准配件

1

EQ-TM106-1监测组件

1个

2

EQ-TM106-2显示仪

1台

3

EQ-TM106-3探头

1个

 

质保期

一年质保期，终身维护 

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