PECVD管式炉（小型滑动）

特点

• 与普通CVD相比可以在低温环境下进行气相沉积实验 
• 可以通过炉体滑动达到快速升温和降温
• 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制 
• 通过工艺调节来控制化学计量 
• 可以沉积各种材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等.

开启式管式炉

• 输入电源: 208 – 240V AC,功率： 1.2kW
• zui高工作温度1200°C，小于60分钟
• 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命（点击文字了解涂层的详细参数）
• 连续工作温度1100°C
• 炉管采用高纯石英管：50mmOD x 44mmID x 1000mm L
• 可设置30段升降温程序，并且带有过热和断偶保护功能
• 加热区长度：200mm 单温区. 
• 恒温区2.3" (60mm)  (+/-1°C) @ 1000°C
• 以下图片显示加热区的温度曲线图         
  (点击图片查看详细资料）

等离子体射频电源

• 输出功率:          5 -300W 可调 稳定性± 1% 
• 射频电源频率:          13.56 MHz 稳定性±0.005% 
• zui大反向功率:      200W 
• 匹配:  自动      
• 射频电源电子输出端口:        50 Ω, N型半导体, 阴极
• 噪音:                      <50 dB. 
• 冷却:                风冷
• 电源 :                208-240VAC, 50/60Hz

真空法兰和接头

• 真空法兰采用 304不锈钢制作. 
• 左端法兰上安装有 KF-25真空接口，2个KF-25快速卸装卡箍，KF-25直角阀，KF-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀

真空泵

• AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
• 2 Liter /S 
• 出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
• 真空度:  10-2 torr
  

产品尺寸和重量

• 外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H)
• 净重: 160kg

质保期

一年质保期，终身维护，（相关耗材除外，如炉管，密封圈等易耗件）

质量认证

CE Certified