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OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其Z高工作温度可以达到1000℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉Z多可对4英寸的晶片进行退火。
KSL-1100X-S-H是一款通过CE认证的小型混合管式/箱式炉,其炉膛尺寸为100x100x100mm,做为单纯的箱式炉可对样品在空气环境下进行热处理。此款设备配有石英炉管和不锈钢密封法兰,可对样品在真空或气氛保护环境下进行热处理。设备Z高温度可达1100℃,而且功率仅仅为500-700W。另外设备体积较小,可放入到手套箱里操作。
KSL-1200X-H是一款设计的混合管式/箱式炉,此款高温炉配有2个炉管(带有真空密封法兰)和一个7.2L的箱式腔体。此款高温炉可在同一时间对不同样品在空气下烧结,也可对部分样品在真空或气氛保护环境下热处理。
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